高效空气过滤器在芯片厂的应用

电子行业，尤其是制造芯片的车间，对粒子的要求很严格，对高效空气过滤器的要求就更加严格。
    一般，芯片车间都是层流的空气形式，天花板上面布满FFU，下面是防静电地板架空，这样可以气流从上面流入，经过高效过滤器过滤，从下面地板流出。完全新风。保证洁净度。
下面是几种空气过滤器中含有的微量元素，对无尘室形成二次污染。
    20世纪90年代初，国外曾对高效过滤器玻纤滤纸的含硼问题争吵了一阵，随后，过滤器的微量挥发元素成了芯片厂关注的事情。近几年，国外出现了聚四氟乙烯纤维高效过滤材料，这种擦料没有挥发物，但它是带静电的“驻极体”，少了个隐患，多了个麻烦，过滤后的空气要进行电中和以消除空气中的离子。目前这种材料价格偏高，大部分过滤器仍使用玻璃纤维滤纸。过滤器上可能的微量挥发元素主要来源于粘接剂和洗涤剂，为芯片厂供货的过滤器厂商要在这方面下功夫。
    空气中的海盐粒子是所有电子工业的大敌，但空气中海盐粉尘的颗粒比较大，普通过滤器就能将其过滤掉。有人说搞电子工业的理想地点应该远离海岸，可沿海地区经济发达，电子厂一窝蜂似的就建在了沿海地区，多用点过滤器就是了。 
    当今的过滤技术可以将洁净室的粉尘浓度降到近乎为零，像百级千级这样的无尘室很普遍。当芯片上的线宽小到0.5μm时，人们发现空气中的化学污染物成了影响成品率的主要危害，于是，在线宽小于0.5μm 的芯片厂空调系统中普遍配置了化学过滤器。化学过滤器的原理和制造工艺并不复杂，它就是活性炭过滤器，但传统的活性炭过滤器制造厂和军工厂没有搭上芯片厂这班车，芯片厂的化学过滤器大都是空调过滤器的制造厂家提供的。