电子半导体车间高效过滤过滤器解决方案

电子半导体车间空气净化工程目标是建立一个洁净无尘的工作环境，防止空气中的微粒子、有害空气、细菌等。半导体生产流水线上的半成品和成品造成污染，传统的通风形式是在车间的整个天花板上布满高效空气过滤器，整个地面为回风栅板。如今FFU风机过滤单元使用自带风机的过滤装置，解决了繁复的安装和性价比问题，是目前市场上一种最安静、价格优良的机组，为洁净室输送高质量的循环空气。
    领先的晶圆设备，微粒过滤和控制AMC是必须的。微粒过滤和控制AMC是高收益、低退货率的半导体产业首要担心的问题。不能很好的在洁净室或设备中控制微粒或AMC将大大的削弱企业的经营利润。洁净室的最主要的问题是产品、工具、加工过程和气味控制的污染 。
    半导体车间空气净化通常由：初效过滤器、中效过滤器、高效过滤器三级空气过滤的空调送风回风和 排风系统、动力及照明系统、工作环境参数的监测报警消防、通讯系统、人流和物流系统、工艺管路系统等部分组成。 
    传统的通风形式是在车间的整个天花板上布满高效过滤器，整个地面为回风栅板。FFU风机过滤单元使用自带风机的过滤装置，解决了繁复的安装和性价比问题，是目前市场上一种最安静、价格优良的机组，为洁净室输送高质量的循环空气。